Центр продукций
инструкция по использованию
Особенности:
1. Большая производственная мощность одной партии и низкое энергопотребление: скорость загрузки ≥ 60%, максимум 2 тонны/партия или более
2, высокий коэффициент использования силана: длительное время контакта с силановым газом и порошком, полная адсорбция
3, высокий выход: отсутствие агломерации, агломерации и смолы во время осаждения кремния и процесса покрытия углеродом
4. Хорошая однородность осаждения и покрытия: местное сильное псевдоним, равномерное смешивание материалов с помощью вращения печи и плиты
5, многофункциональный: осаждение кремния и покрытие углерода непрерывно, готовый продукт выпущен
6, высокая безопасность: полностью закрытая работа, может полностью заменить воздух
Технические параметры
|
Спецификация продукта |
CS-RGF4080 |
CS-RGF90250 |
CS-RGF120400 |
|
Эффективная зона температуры |
Φ400*800mm |
Φ900*2500mm |
Φ1200*4000mm |
|
Диапазон температур |
500 ~ 900 ℃ |
500 ~ 900 ℃ |
500 ~ 900 ℃ |
|
Источник газа |
SiH4, C2H2, N2 | SiH4, C2H2, N2 | SiH4, C2H2, N2 |
|
Количество пористого углерода |
25 кг |
400 кг |
800 кг |
|
Выход партии ~ 48 часов |
50 кг |
800 кг |
1600 кг |
Права интеллектуальной собственности
* Примечание: Пожалуйста, убедитесь, что информация заполнена правильно и что связь бесперебойна, и мы свяжемся с вами как можно скорее